李星輝 | 組織的な若手研究者等海外派遣プログラム「研究のフィールドは世界」

韓国科学技術院（韓国大田広域市）
2012年12月05日～2013年1月3日（30日間）

平面ステージは、広く半導体製造/検査、精密工作機械及び走査型プローブ測定に使用されています。こうした平面ステージ超精密位置決めの需要に応えるために、私たちは計測・制御用光学式6自由度センサを開発しました。光学式センサの性能を評価するには、従来の方法ではレーザー干渉計を使用しますが、干渉計が周りの空気に影響されやすい点を考慮し、私たちはフェムト秒周波数コムを使用して開発したセンサの性能を評価しています。さらにフェムト秒周波数コムを、平面ステージにおいて他に運用できる可能性を検討しています。

韓国科学技術院の精密工学及び計測研究室（Precision Engineering Laboratory, KAIST, Korea）のSeung-Woo Kim教授は、当該領域の専門家であり、豊富な理論蓄積と実践経験を持っています。今回は、Kim教授の率いるグループのメンバーと共に周波数コムから単縦モードを抽出と増幅する技術について検討しました。単縦モードを増幅する技術の応用は、私たちが開発した6 自由度センサの性能を評価するのに役立つ上、増幅した単縦モードは直接光源として、既に開発された平面ステージ位置の高精度測定に使用できます。

滞在した一ヶ月間、Kim教授は貴重な時間を割き、私を指導してくださるとともに、在校生と一緒に討論・実験ができるように手配してくださいました。これらの経験により、専門知識を深め、視野を広げ、海外での研究の雰囲気を体感することができました。さらに、韓国のグルメ、マナーや風習を楽しむこともできました。今回の海外研修プロジェクトは、高教授、吉田教授をはじめとする多くの方のご指導とご協力により、実現できました。深く感謝の意を申し上げます。