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尹 晨光さん（高・佐藤(遼)研究室 D3）が精密工学会研究奨励賞を受賞しました。
賞名：精密工学会研究奨励賞
受賞者：尹 晨光 (D3)
受賞年月日：2026年3月18日
題目：A two-axis Lloyd’s mirror interferometer with elastically bent mirrors for fabrication of variable-line-spacing scale gratings
著者：尹 晨光(Yin Chenguang)、佐藤遼、小髙賢士、松隈 啓、高 偉(Wei Gao)
授与団体：公益財団法人 精密工学会
関連ページ：精密工学会研究奨励賞｜精密工学会
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