田中 秀治教授が日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門において研究功績賞を受賞しました。（2019年11月21日）

田中 秀治教授（ロボティクス専攻）が日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門において研究功績賞を受賞しました。
授賞式は、日本機械学会マイクロ・ナノ工学部門主催第10回マイクロ・ナノ工学シンポジウムにて行われました。

受賞日　：2019年11月21日
授与団体：一般社団法人 日本機械学会
賞名　　：マイクロ・ナノ工学部門 部門賞 研究功績賞
受賞者　：田中 秀治教授（ロボティクス専攻）
受賞理由：
MEMS技術を駆使して、様々な新しいマイクロシステムを創出してきた。例えば、情報通信や無線センサの要となる周波数選択・制御デバイス、人間と共生する次世代ロボット用触覚センサ、高性能ジャイロスコープなどの各種物理センサや、生体物質を簡単に検出できるバイオセンサなどを開発している。
さらに、これらを実現するために、集積回路との一体化、機能性材料の利用、新しいパッケージングなど異種要素をウェハレベルで集積化するヘテロ集積化技術、パッケージング技術、機能性材料成膜技術などの基盤技術も独自に開発している。
特に、これらの研究成果の実用化や発展のために、企業との共同研究、技術支援、研究機器の公開および、国際連携にも力を入れている。
また、2017年度には、マイクロ・ナノ工学部門の部門長を務めるなど、本部門への貢献も非常に大きい。よって、田中氏に研究功績賞を授与することとした。