プレスリリース
2026.10.21
半導体先端パッケージング・ヘテロ集積化技術に関する研究開発コンソーシアム”T-CHIPS”が始動 ―後工程技術による半導体の高度化を目指して―（田中 秀治 教授）
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厨川研究室の教員が、砥粒加工学会賞論文賞を受賞しました。（2021年3月3日）
受賞
2021.03.08
厨川研究室の教員が、砥粒加工学会賞論文賞を受賞しました。
賞名 ：砥粒加工学会賞論文賞
受賞年月日：2021年3月3日
授与機関 ：公益社団法人 砥粒加工学会
題目 ：単結晶窒化ガリウム(GaN)基板の高速高精度加工法の開発 -紫外線援用テープ研削法の提案-
受賞者 ：鷹巣 良史（2019.9 本学社会人Dr取得、パナソニック株式会社）、水谷 正義准教授、嶋田 慶太助教、厨川 常元教授
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